填空题 半导体应变片以（）效应为主，它的灵敏度系数为金属应变片的（）倍。

多项选择题 压电式加速度传感器是（）传感器。

单项选择题 变磁通感应式转速传感器在测量轴的转速时，其齿盘应该用（）材料制成。