问答题
影响外延薄膜的生长速度的因素有哪些？
1）温度高温区B区，生长速率对温度的变化不敏感，生长速率由气相质量输运控制，并且对反应室的几何形状和气流有很大的依赖性。......
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问答题 简述外延薄膜的生长过程，其最显著的特征是什么？
问答题 简述APCVD、LPCVD、PECVD的特点。
问答题 CVD淀积过程中两个主要的限制步骤是什么？它们分别在什么情况下会支配整个淀积速率？
