问答题
简述硅气相外延的过程？
在气相外延生长过程中，有两步： 质量输运过程－－反应剂输运到衬底表面 表面反应过程－－在衬底表面发生化学反应释放出硅原子
问答题 简述外延的分类？
问答题 什么叫做外延？外延有哪些特点？
问答题 增层工艺主要包括哪些方式？
