判断题 采用直流辉光放电时，一般选择在异常辉光放电区进行溅射镀膜。

判断题 薄膜属于二维材料。

判断题 利用高能粒子高速撞击靶材，使大量的靶材表面原子获得相当高的能量而脱离靶材的束缚飞向衬底，沉积成膜，这种制膜方法称为溅射镀膜。