问答题 射频放电与直流放电相比有何优点？

问答题 下图为直流等离子放电的I-V曲线，请分别写出a-g各段的名称。可用作半导体制造工艺中离子轰击的是其中哪一段？试解释其工作原理。

问答题 简述几种典型真空泵的工作原理。