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直拉单晶硅工艺学

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填空题

生长单晶时,最关心的是在宏观尺寸上的固液界面是()、()还是()看,是考虑界面稳定性的参考标准。

【参考答案】

凸形面;凹形面;平坦面

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填空题 非完整突变光滑界面生长不需要(),晶体以位错露头点作生长源进行生长,原子或分子的()和()主导生长速率,可用非完整突变光滑面生长机制解释。

填空题 完整突变光滑界面的生长是单原子或分子运动过程,二维晶核的()起支配作用,由液相生成晶体时,一个独立的原子或分子一个接一个地堆积。

填空题 在粗糙突变界面模型中,描述结晶过程时,认为原子或分子()和()同时、独立的进行。

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