填空题
湿度传感器按照结构分类法可分为（）和（）两种基本形式，其湿度传感器的敏感元件分别为（）和（）。
电阻式；电容式；湿敏电阻；湿敏电容
填空题 传感器的输出量对于随时间变化的输入量的响应特性称为传感器的（），衡量静态特性的重要指标是（）、（）、（）和（）等。
填空题 传感器是一种能把特定的（），按一定规律转换成某种可用（）的器件或装置，以满足信息的传输、处理、记录、显示和控制等要求。（）与（）是传感器的两个基本元件，
单项选择题 在微电子机械系统（MEMS）中，材料以（）为主。
