填空题
电火花加工蚀除金属材料的微观物理过程可分为（）、（）（）和（）四个阶段。
介质电力击穿；介质热分解、电极材料融化、气化；蚀除物抛出；间隙介质消电离
填空题 精密和超精度加工机床主轴轴承的常用形式有（）和（）。
填空题 超精密机床导轨部件要求有极高的直线运动精度，不能有爬行。除要求导轨有很高的制造精度外，还要求导轨的材料具有（）、（）和（）。
填空题 快速成型的数据接口主要有：（）和（）。
