多项选择题
半导体芯片生产中，离子注入主要是用来（）。
A.氧化 B.改变导电类型 C.涂层 D.改变材料性质 E.镀膜
单项选择题 硅烷的分子式是（）。
多项选择题 去正胶常用的溶剂有（）
多项选择题 光刻胶的光学稳定通过（）来完成的。
