单项选择题
刻蚀过程中的刻蚀速率不稳定可能是由于（）。
A.刻蚀气体流量波动B.温度不稳定C.压力变化D.以上都是
单项选择题 刻蚀机的操作培训重点在于（）。
单项选择题 以下哪种不是提高刻蚀机生产效率的方法（）？
单项选择题 以下哪种不是刻蚀机的加热方式（）？
