填空题 床身和导轨的材料主要有（）、（）、（）三种。

填空题 超精密切削实际能达到的最小切削厚度与金刚石刀具的（）、使用的超精密机床的（）、切削时的（）等都直接有关。

填空题 精密和超精密加工机床主轴轴承的常用形式有（）和（）。