问答题
简述离子束加工为什么达到最微细加工
离子束可以通过离子光学系统进行聚焦扫描，共聚焦光斑可达1μm以内，因而可以精确控制尺寸范围。离子束轰击材料是逐层去除原子......
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填空题 离子镀膜加工包括（）和（）两种方式。
问答题 简述离子束加工、离子镀膜加工的含义
问答题 简述什么是电子束曝光
