问答题
硅片关键尺寸测量的主要工具是什么？
硅片关键尺寸测量的主要工具是扫描电子显微镜（SEM），它能放大10万到30万倍，这明显高于光学显微镜，用扫描电子显微镜观......
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问答题 给出半导体质量测量的定义。例出在集成电路制造中12种不同的质量测量。
问答题 什么是外延层？为什么硅片上要使用外延层？
问答题 将圆柱形的单晶硅锭制备成硅片需要哪些工艺流程？
