多项选择题
在对层间绝缘膜进行CMP时,层间绝缘膜的表面会随下列那些因素产生变化()。
A.电路图形结构的凹凸 B.尺寸大小 C.位置分布 D.高度 E.密集程度
多项选择题 直流二极管辉光放电系统是由()构成。
单项选择题 在直流二极管辉光放电系统的玻璃管中,自由电子在碰撞氩原子之前可运动的平均距离又叫()。
多项选择题 从电极的结构看,溅射的方法包括()。