名词解释
双掺杂技术
同时引入两种原子半径不同的杂质原子，使他们产生的应变正好相反。应力得到补偿，减少或避免晶格畸变，消除失配位错-应力补偿法......
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名词解释 外延层的夹层
名词解释 自掺杂
名词解释 吸杂工艺
