单项选择题 悬浮区熔法检验多晶硅中基磷含量时，采用快速区熔法的工艺时，第一次区熔时，第一区熔区停留挥发时间（）左右。

单项选择题 光图定向法结果直观，操作（），误差（）。

单项选择题 （）是影响硅器件成品率的一个重要因素，也是影响器件性能的稳定性和可靠性的重要因素。