问答题
在化学气相薄膜沉积过程中可控制的变里有那些？涉及那几个基本过程？
气体流量、气体组分、沉积温度、气压、真空室几何构型等。因此，化学气相沉积涉及三个基本过程：（1）反应......
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问答题 化学气相沉积的主要缺点有哪些？
问答题 简述捕获泵再生时必须遵循的要求。
问答题 何为低温泵，按其工作原理可分几种类型？
