填空题
电子束加工是在（）条件下，利用（）对工件进行加工的方法。
真空；聚焦后的能量密度极高、速度极高的电子束
填空题 电火花加工粗加工时工件常接（）极，精加工时工件常接（）极；线切割加工时工件接正极；电极加工时工件接（）极；电解磨削时工件接正极；电刻度时工件接（）极。
填空题 超精密加工机床的关键部件有：（）、（）和（）等。
填空题 超精密加工机床的总体布局形式主要有以下几种：（）、（）、（）、（）等。
