问答题
在VLSI中，为什么要采用Cu互连及多层金属化技术？
因为Cu的互连线电阻率低，介质层介电常数小。 多层互连对VLSI的意义：1提高集成度；2降低互连延迟3降低成本
问答题 什么是分辨率？如何提高分辨率？
问答题 简要说明正胶和负胶的关光刻原理与特性。
问答题 为什么说光刻是IC制造中最重要的工艺？光刻的三个要素是什么？
