单项选择题 涂复装置使用的光电纠偏机构，是通过光电管来感测（）的偏移程度。

多项选择题 涂复装置使用的纠偏机构，一般有（）、光电纠偏等几种形式。

单项选择题 涂复装置使用的纠偏机构，一般安放在基材的（）过程中，用来纠正跑偏的基材。