问答题
离子束设备由什么组成？
离子源（又称离子枪，产生离子束流）、真空系统、控制系统、电源。
问答题 离子束加工的特点是什么？
问答题 离子束加工的基本原理和特点是什么？
问答题 电子束加工可用于哪里？
