多项选择题 通常情况下，我们改变工艺条件使刻蚀进行中（）的刻蚀速率尽量低。

单项选择题 （）是测量在刻蚀过程中物质被移除的速率有多快的一种参数。

单项选择题 电离气体与普通气体的不同之处在于：后者是由电中性的分子或原子组成的，前者则是（）和中性粒子组成的集合体。