填空题 电子束加工是在（）条件下，利用聚焦后能量密度极高、（）对工件进行加工的方法。

填空题 三束加工是指（）、（）和（）。

填空题 微小尺寸加工和一般尺寸加工的不同点是（）、（）、（）。