填空题 根据引起气体放电的机理不同，可形成不同的溅射镀膜方法，主要有（）溅射、（）溅射、反应溅射、磁控溅射等方法。

问答题 简述功能薄膜材料的概念。

问答题 论述压电材料的应用。