单项选择题
刻蚀机的尾气处理系统主要作用是（）。
A.降低噪音B.回收有用气体C.减少环境污染D.提高刻蚀效率
单项选择题 刻蚀机的电源类型通常为（）。
单项选择题 刻蚀过程中的掩膜材料通常要求（）。
单项选择题 刻蚀机的冷却系统通常采用（）。
