单项选择题 金刚石晶体在高磨削率方向上，磨削率最低即最不容易磨的晶面是：（）

填空题 光刻加工技术主要是针对集成电路制作中得到（）微细线条所构成的（）微细复杂图形。

填空题 立体氮化硼砂轮磨削时采用（）为磨削液，一般不用（）。