填空题 在半导体工艺中，硫酸常用于去除（）和配制（）等。

填空题 白光照射二氧化硅时，不同的厚度有不同的（）。

填空题 半导体中的离子注入掺杂是把掺杂剂（）加速到的需要的（），直接注入到半导体晶片中，并经适当温度的（）。