问答题
简述压电或电致伸缩式微量进给装置的突出特点和用途？
特点：压电或电致伸缩式微量进给装置具有良好的动态特性 用途：可用于实现自动微量进给。
填空题 超精密加工机床中的微量进给装置普遍采用的形式有（）式。
问答题 超精密加工机床床身和导轨的材料，可采用哪些材料？
问答题 超精密加工机床的主轴部件通常采用哪些类型的轴承？这些轴承各有哪些特点？
