多项选择题 沾污是指半导体制造过程中引入半导体硅片的任何危害微芯片（）的不希望有的物质。

多项选择题 净化室将硅片制造设备与外部环境隔离，免受诸如（）的沾污。

多项选择题 树脂使用过程中需保持一定温度，阳树脂和阴树脂分别不能高于（）度，使用温度不能过低，低于0度会使树脂冻裂。