问答题
磁控靶表面的磁场强度是多少？
水平磁场的强度约300-500GS。电子在靶表面做旋轮线运动，其旋轮半径，磁场的大小应使r大小落在靶表面的阴极位降范围，......
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问答题 磁控溅射典型的工艺参数？
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