单项选择题
还原退火炉内,保护气体H2浓度越高,则基板表面氧化膜被还原的速度()。
A.越快 B.越慢 C.无变化
单项选择题 还原退火炉正常生产时,要保证炉内始终()。
单项选择题 停炉时,氢含量低于()时,方可将温度降低到700℃。
单项选择题 1mm高水柱的压力,约为()pa。