判断题 电子束加工是利用电能使电子加速转换成动能撞击工件，又转换成热能来蚀除金属的。

判断题 电致伸缩微量进给装置的三大关键技术是电致伸缩传感器、微量进给装置的机械结构及其驱动电源。

判断题 实现超精密加工的关键是微量去除技术。