名词解释
双气流MPVPE
采用二组输入反应室的气路进行外延生长，一路为主气路，沿与衬底平行方向输入反应气体。另一路称为副气路，在垂直于衬底方向高速......
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名词解释 二步外延法
名词解释 ALE
名词解释 CBE
