多项选择题
晶圆贴膜遇见哪些情况时需要重新贴膜，以保证贴膜正常？（）
A.晶圆划伤B.贴膜气泡C.蓝膜起皱D.蓝膜破损
多项选择题 下列关于划片的表述，正确的有（）。
多项选择题 烘箱清洁时，需要清洗烘箱的（）等部位。
多项选择题 崩边晶圆划片时比较常见的异常现象，包括（）等
