单项选择题
CVD法成膜使用气体原料，通过分解还原、（）、置换等化学反应使薄膜凝结在基板表面的成膜方法。
A.氧化B.蒸发C.电离D.挥发
单项选择题 小型空冷干泵是指哪种型号的泵？（）
单项选择题 下列是ULVAC设备制造中常用成膜方式的是（）。
单项选择题 以下不属于无机半导体的是（）。
