填空题 集成电路的特征尺寸是衡量集成电路加工工艺水平和（）的主要指标。

填空题 集成电路的特征尺寸有时也称线宽，通常是指集成电路中半导体器件的（）。

填空题 MOS型集成电路又分为NMOS、PMOS、（）型。