填空题 破碎的块状多晶硅具有无规则的形状和随机尺寸分布，其线性尺寸最小为（）mm，最大为（）mm。

填空题 测量炉腔压力的两个压力计量程各为（），（）。

填空题 石英坩埚的化学成份是（），化学式是（）。