单项选择题
PECVD主要利用的是（）区域。
A.正离子柱区 B.法拉第暗区 C.阳极辉光 D.阴极辉光
单项选择题 PECVD所使用的主要原料是（）。
单项选择题 α-Si指（）。
单项选择题 与光致衰减效应联系最紧密的元素是（）。
