填空题
（）、（）和（）材料统称为半导体微结构材料。
半导体异质结；超晶格；量子阱
填空题 结晶形锗硅合金的制备方法有（）、水平法、热分解法和（）。
填空题 锗硅合金有（）、（）和超晶格三种。
填空题 砷化镓膜材料主要通过外延技术制备。主要外延方法有（）外延、液相外延和（）外延
