问答题
什么是扩散工艺？
扩散是微电子工艺中最基本的工艺之一，是在约1000℃的高温、p型或n型杂质气氛中，使杂质向衬底硅片的确定区域内扩散，达到......
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问答题 什么是杂质分凝效应和分凝系数？
问答题 氧化物有哪两个生长阶段？
问答题 注入离子在耙内的能量损失的过程？
