判断题 电子束可以通过磁透镜聚焦，并靠偏转线圈实现小角度的偏转，扩大加工区域。

判断题 电子束加工必须在真空条件下进行。

判断题 电子束加工去除材料是靠高速运动电子的动能直接去除材料。