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直拉单晶硅工艺学

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填空题

红外吸收光谱法检测氧碳含量,多数仪器的检测下限是()。

【参考答案】

1×1016atoms/cm3

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填空题 在检测规范中规定,氧样片的取片位置在(),碳样片的取片位置在()。

填空题 对于氧含量,从一支单晶的纵向变化规律来说,()最高,()次高。最低点出现在()。

填空题 使用表面光电压法测量寿命,可允许把厚度大致减小到PC法的(),因此是很有吸引力的。

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