单项选择题
（）就是用功率密度很高的激光束照射半导体表面，使其中离子注入层在极短的时间内达到高温，消除损伤。
A.热退火 B.激光退火 C.连续激光退火 D.脉冲激光退火
单项选择题 目前，最广泛使用的退火方式是（）。
单项选择题 损伤的分布与注入离子在在靶内的（）的分布密切相关。
多项选择题 哪种方法可以增加缺陷的积累率而降低临界注入量：（）。
