black

过程控制

登录

单项选择题

半导体生产过程传统的控制手段主要是固定工艺方案的单变量常规控制,比如()、压力等环境参数的定值控制。

A.温度
B.湿度
C.流量
D.差压

相关考题

单项选择题 积分会消除余差,所以当比例控制产生的余差超过限定值时,可使用比例积分控制器,在反馈控制器中,约有()是采用PI控制器的。

单项选择题 以石油、化工过程为例,接近()的控制回路均采用以PID控制为基础的常规控制。

单项选择题 建模本身需要在模型精度和()之间进行折中。

All Rights Reserved 版权所有©PP题库网库(pptiku.com)

备案号:湘ICP备14005140号-5

经营许可证号:湘B2-20140064