多项选择题 实现超精密加工的技术支撑条件主要包括：（）、高质量的工件材料、超稳定的加工环境条件等。

单项选择题 纳米技术是指纳米级（）nm的材料、设计、制造、测量、控制和产品的技术。

单项选择题 空气洁净度是按空气中每立方米含直径大于（）μm的尘粒数来分等级。