问答题
7.0旋涂碗电机不转有哪些原因？
（1）盘片吸真空不好； （2）电机不转，没电或坏； （3）电机驱动器故障。
问答题 如何更换Arm手臂的吸碟头？
问答题 烘炉Arm手臂放片不好，如何调整？
问答题 旋涂碗不转，如何处理？
