单项选择题 精密和超精密加工的质量不仅与振动干扰的（）有关，而且与振动干扰的频率有关。

单项选择题 超精密加工机床中微量进给装置最常用的形式是（）

单项选择题 超精密磨削是指加工精度达到或高于为（）μm、表面粗糙度小于Ra0.025μm的来微米级的加工方法。