问答题
化学气相沉积装置的组成是怎样的？
①反应气体和载气的供给和计量装置； ②必要的加热和冷却系统； ③反应产物气体的排出装置。
问答题 薄膜的化学制备方法有哪些？
问答题 什么是真空蒸镀？
问答题 薄膜的物理制备方法是什么？
