多项选择题
下列哪些因素会影响临界注入量的大小:()。
A.注入离子的质量 B.靶的种类 C.注入温度 D.注入速度 E.注入剂量
单项选择题 当注入剂量增加到某个值时,损伤量不再增加,趋于饱和。饱和正是对应连续()的形成。
单项选择题 当注入剂量增加到某个值时,损伤量不再增加,趋于饱和。开始饱和的注入剂量称为()。
多项选择题 对于非晶靶,离子注入的射程分布取决于()。