名词解释
选区衍射
为了分析样品上的一个微小区域,在样品上放一个选区光阑,使电子束只能通过光阑孔限定的微区,对这个微区进行衍射分析。
名词解释 点分辨率与晶格分辨率
名词解释 孔径半角
名词解释 Ariy斑